Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии

Учебно-методическое пособие. - Нижний Новгород, ННГУ, 2011. - 110 с.Рассматриваются физические основы методов электронной оже-спектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа состава самоорганизованных кремний-германиевых систем и тонкопленочных структур разбавленных магнитных полупроводников.
Для студентов старших курсов и магистратуры физического факультета, обучающихся по специальностям 210600 - "Нанотехнология в электронике" и 210100 "Электроника и микроэлектроника", направление специализации - "Физика твердотельных наноструктур".